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华海清科股份有限公司
  企业信息  
所属行业 实业 公司性质 股份有限公司 公司规模
企业简介 华海清科股份有限公司(以下简称“公司”或“华海清科”)成立于2013年,注册资金8000万元,位于天津市津南区,是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要产品为化学机械抛光(即Chemical Mechanical Polishing ,简称CMP)设备。CMP是先进集成电路制造前道工序必需的关键制程工艺,公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国际先进水平。
公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商;公司所产主流机型已成功填补国内空白,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,有效降低了国内下游客户采购成本及对国外设备的依赖,支撑国内集成电路产业的快速发展。
公司研发团队核心来自于清华大学摩擦学国家重点实验室,先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项(02专项)”及三项国家级重大项目/课题,针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMP设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局,打破了国外巨头的技术垄断,真正实现了国内市场CMP设备领域的国产替代。

 
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